先進(jìn)智造下，智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展--廣東

導(dǎo)讀：廣東制造業(yè)在“十三五”期間取得長足進(jìn)步。省工信廳黨組成員、副廳長吳東文介紹，2020年廣東規(guī)模以上工業(yè)增加值達(dá)3.31萬億元，規(guī)上工業(yè)企業(yè)達(dá)5.4萬家，新一代電子信息、綠色石化、家電等萬億產(chǎn)業(yè)集群在全國占據(jù)重要位置，制造強(qiáng)省建設(shè)取得積極成效。“十四五”期間，廣東將圍繞打造新發(fā)展格局戰(zhàn)略支點(diǎn)，建設(shè)全球先進(jìn)制造業(yè)基地和產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新高地，鞏固工業(yè)在經(jīng)濟(jì)體系中的支柱地位，制造業(yè)占GDP比重保持在30%的水平。

       近年來，廣東省出臺(tái)了一系列政策支持發(fā)展先進(jìn)、智能傳感器，目前主要以廣州、深圳中心城市為主并形成了一定的產(chǎn)業(yè)規(guī)模。

       2020年9月，廣東省智能傳感器產(chǎn)業(yè)園正式啟動(dòng)，明確廣東省智能傳感器產(chǎn)業(yè)園以廣州開發(fā)區(qū)為試點(diǎn)，推動(dòng)智能傳感器技術(shù)創(chuàng)新，促進(jìn)智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展。

       2021年8月，廣東省政府正式發(fā)布《廣東省制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展“十四五”規(guī)劃》(以下簡(jiǎn)稱《規(guī)劃》)。梳理《規(guī)劃》內(nèi)容不難發(fā)現(xiàn)，對(duì)于智能傳感器產(chǎn)業(yè)的布局，廣深兩市被寄予厚望。

       另外，《規(guī)劃》指出，在芯片設(shè)計(jì)方面，廣州重點(diǎn)發(fā)展智能傳感器、射頻濾波器、第三代半導(dǎo)體，建設(shè)綜合性集成電路產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)；芯片制造方面，廣州以硅基特色工藝晶圓代工線為核心，布局建設(shè)12英寸集成電路制造生產(chǎn)線，深圳定位28納米及以下先進(jìn)制造工藝和射頻、功率、傳感器、顯示驅(qū)動(dòng)等高端特色工藝，推動(dòng)現(xiàn)有芯片制造生產(chǎn)線產(chǎn)能和技術(shù)水平提升；在封測(cè)方面，廣州發(fā)展器件級(jí)、晶圓級(jí)MEMS封裝和系統(tǒng)級(jí)測(cè)試技術(shù)等。

       產(chǎn)業(yè)集聚和規(guī)模根據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院梳理，截至2021年9月，廣東省企業(yè)中，企業(yè)名稱或者經(jīng)營范圍內(nèi)含有“智能傳感器”的大中小企業(yè)共79212家。按注冊(cè)資本劃分，注冊(cè)資本在100萬以下的企業(yè)有21238家，100-500萬的有31787家，500-1000萬的有12536家，1000萬以上的有13542家，占比分別為26.85%、40.18%、15.85%以及17.12%。

廣東省智能傳感器產(chǎn)業(yè)園

       2020年9月，廣東省、廣州市、廣州開發(fā)區(qū)三級(jí)聯(lián)動(dòng)啟動(dòng)共建廣東智能傳感器產(chǎn)業(yè)園，這是廣東省內(nèi)首個(gè)傳感器產(chǎn)業(yè)園。以廣州開發(fā)區(qū)為試點(diǎn)，力爭(zhēng)5年內(nèi)建成立足粵港澳大灣區(qū)輻射全國、具有國際影響力的智能傳感器產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)。

       廣東智能傳感器產(chǎn)業(yè)園位于廣州人工智能與數(shù)字經(jīng)濟(jì)試驗(yàn)區(qū)（魚珠片區(qū)）北側(cè)，總占地面積約10.79萬㎡，建筑面積49.8萬㎡，總投資26.8億元。

       成立一年后，廣東智能傳感器產(chǎn)業(yè)園已拔地而起，首批功能性建筑“粵港澳大灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)園運(yùn)營中心”已于今年6月28日投入使用。2021年11月廣東智能傳感器產(chǎn)業(yè)園一期項(xiàng)目主體結(jié)構(gòu)封頂，進(jìn)入快速推進(jìn)階段。

       另外，2021年11月2日，第24屆中國集成電路制造年會(huì)上，由興橙資本作為發(fā)起人組建的灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團(tuán)舉行成立儀式。集團(tuán)計(jì)劃注冊(cè)資本100億元，在海外購買IMEC技術(shù)授權(quán)，將上海乃至全球的先進(jìn)傳感器技術(shù)在大灣區(qū)應(yīng)用推廣。集團(tuán)將快速打造核心產(chǎn)業(yè)平臺(tái)，建設(shè)對(duì)標(biāo)世界先進(jìn)水平的12英寸MEMS傳感器量產(chǎn)線、12英寸晶圓級(jí)MEMS傳感器封裝和SIP系統(tǒng)級(jí)傳感器封測(cè)量產(chǎn)線，在增城南香山打造千畝空間的產(chǎn)業(yè)園。

       產(chǎn)業(yè)生態(tài)建設(shè) 目前，廣東省智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展中，涌現(xiàn)出多個(gè)代表性機(jī)構(gòu)和骨干企業(yè)，涵蓋研究開發(fā)、材料元件、設(shè)計(jì)制造、應(yīng)用終端等、逐漸形成“主體集中、區(qū)域集聚、技術(shù)先進(jìn)、應(yīng)用繁榮”的產(chǎn)業(yè)鏈圈。

       其中，根據(jù)官方數(shù)據(jù)，廣州開發(fā)區(qū)內(nèi)擁有金發(fā)科技等傳感器基礎(chǔ)材料企業(yè)超10家，擁有國家納米科學(xué)中心納米智能傳感器項(xiàng)目及其量產(chǎn)的6寸壓電IDM晶圓產(chǎn)線、南方電網(wǎng)總部及其數(shù)字電網(wǎng)研究院、廣東省目前唯一量產(chǎn)的12英寸芯片虛擬IDM項(xiàng)目粵芯半導(dǎo)體、全球CTP行業(yè)龍頭企業(yè)愛司凱、國內(nèi)領(lǐng)先的MEMSIDM傳感器公司奧松電子等傳感器設(shè)計(jì)制造和封裝測(cè)試企業(yè)15家，以及傳感器應(yīng)用終端企業(yè)70家以上，如專注于機(jī)器視覺精密測(cè)量和工業(yè)自動(dòng)化技術(shù)的研發(fā)創(chuàng)新企業(yè)海伯森技術(shù)等。

主要研發(fā)機(jī)構(gòu)

（以下是不完全名單）

中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院

       根據(jù)中央建設(shè)創(chuàng)新型國家的總體戰(zhàn)略目標(biāo)和國家中長期科技發(fā)展規(guī)劃綱要，結(jié)合中國科學(xué)院科技布局調(diào)整的要求，圍繞深圳市實(shí)施創(chuàng)新型城市戰(zhàn)略，2006年2月，中國科學(xué)院、深圳市人民政府及香港中文大學(xué)友好協(xié)商，在深圳市共同建立中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院（以下簡(jiǎn)稱“深圳先進(jìn)院”），實(shí)行理事會(huì)管理，探索體制機(jī)制創(chuàng)新。

深圳清華大學(xué)研究院

       重點(diǎn)研究方向：力敏傳感器、生物傳感器、紅外傳感器、微納傳感器等

       由深圳市政府和清華大學(xué)聯(lián)合建立，是一個(gè)高層次、綜合性、開放式的產(chǎn)學(xué)研實(shí)體，我國華南地區(qū)科技創(chuàng)新的很重要基地。清華研究院平均每年申報(bào)專利100項(xiàng)，超過15項(xiàng)成果實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，直接由技術(shù)創(chuàng)新產(chǎn)生的價(jià)值超過10億元。

營商環(huán)境

       優(yōu)化營商環(huán)境是激發(fā)市場(chǎng)主體活力的關(guān)鍵，廣東近年來持續(xù)推進(jìn)營商環(huán)境改革，進(jìn)一步瞄準(zhǔn)最高標(biāo)準(zhǔn)、最高水平開展先行先試，在打造市場(chǎng)化法治化國際化營商環(huán)境上形成了可復(fù)制可推廣的“廣東經(jīng)驗(yàn)”。

       《2021年廣東省營商環(huán)境評(píng)價(jià)報(bào)告》顯示，廣州、深圳為全省標(biāo)桿，兩市納入首批國家營商環(huán)境創(chuàng)新試點(diǎn)城市。作為傳感器產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)布局的城市，廣州在2020年國家營商環(huán)境評(píng)價(jià)中廣州市位居全國前列，全部18個(gè)指標(biāo)獲評(píng)全國標(biāo)桿；在廣東省營商環(huán)境評(píng)價(jià)中位居第一；近日華南美國商會(huì)發(fā)布的年度調(diào)查報(bào)告顯示，廣州連續(xù)4年被受訪企業(yè)列為最熱門的投資城市。

       創(chuàng)新活力和人才資源 廣東人才和科技綜合實(shí)力一直處在全國前列且不斷增強(qiáng)。據(jù)科技部組織編寫的《中國科技人才發(fā)展報(bào)告2020》（下稱“報(bào)告”）顯示，2019年，廣東R&D人員達(dá)80.3萬人年，居全國首位，超過西部12省份之和，是東北三省總量的4.3倍。

       另外，據(jù)2020年《中國城市科技創(chuàng)新發(fā)展報(bào)告》顯示，廣東省內(nèi)深圳、廣州、珠海、東莞、佛山、中山、江門、惠州、肇慶、汕頭10地的科技創(chuàng)新發(fā)展指數(shù)均高于全國0.3325的平均值。其中，深圳市和廣州市均位全國前列。2020年，中國社科院與經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)發(fā)布《中國城市競(jìng)爭(zhēng)力第18次報(bào)告》中，深圳名列前茅，廣州緊跟其后。廣東省內(nèi)其他城市在報(bào)告中也有不俗的表現(xiàn)。

       隨著對(duì)高端人才求賢若渴，廣東各地的人才政策不斷轉(zhuǎn)向打造“一站式”貼心配套服務(wù)的組合拳。廣東在省人才服務(wù)局設(shè)立廣東省高層次人才服務(wù)專區(qū)（加掛中央“國家高級(jí)人才計(jì)劃”廣東省服務(wù)窗口），為包括來粵科研工作的海內(nèi)外高層次人才在內(nèi)的院士、領(lǐng)軍人才、國家“國家高級(jí)人才計(jì)劃”專家等符合條件的12類高層次人才提供26項(xiàng)“一站式”政務(wù)服務(wù)。

       專項(xiàng)扶持政策 2020年9月，黃埔區(qū)、廣州開發(fā)區(qū)出臺(tái)《廣州市黃埔區(qū)、廣州開發(fā)區(qū)、廣州高新區(qū)促進(jìn)智能傳感器產(chǎn)業(yè)化發(fā)展若干措施》（簡(jiǎn)稱“智能傳感器20條”）。該措施也是粵港澳大灣區(qū)首個(gè)區(qū)縣級(jí)智能傳感器產(chǎn)業(yè)專項(xiàng)政策。

       據(jù)悉，“智能傳感器20條”在技術(shù)、應(yīng)用、產(chǎn)業(yè)、平臺(tái)、人才等方面加大對(duì)智能傳感器傾斜支持力度。

       其中，研發(fā)費(fèi)最高可獲100萬元補(bǔ)助；技術(shù)交易中涉及專利轉(zhuǎn)讓且包含核心技術(shù)發(fā)明專利并在本區(qū)實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)化的每年最高可獲1000萬元獎(jiǎng)勵(lì)；企業(yè)打造國家級(jí)實(shí)驗(yàn)室、國家工程技術(shù)研究中心、國家企業(yè)技術(shù)中心等最高可獲獎(jiǎng)勵(lì)300萬元。

       在MEMS制造新動(dòng)能上，“智能傳感器20條”以MEMS產(chǎn)業(yè)為核心，加快智能傳感器設(shè)計(jì)、制造、封裝、測(cè)試等多環(huán)節(jié)協(xié)調(diào)合作發(fā)展，鼓勵(lì)智能傳感器設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)和應(yīng)用環(huán)節(jié)龍頭及配套企業(yè)落地生根。落戶獎(jiǎng)勵(lì)最高1000萬元；對(duì)產(chǎn)值1億元以上且同比增長10%以上的智能傳感器制造型企業(yè)給予最高5000萬元獎(jiǎng)勵(lì)。

       此外，“智能傳感器20條”還鼓勵(lì)智能傳感器與工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)融合關(guān)鍵技術(shù)和設(shè)備研發(fā)及規(guī)模應(yīng)用，如機(jī)械臂、AGV導(dǎo)航車、AOI檢測(cè)等智能傳感器設(shè)備在工業(yè)生產(chǎn)、搬運(yùn)、檢測(cè)、維護(hù)等領(lǐng)域應(yīng)用。對(duì)國家、省工信部門認(rèn)定的智能制造試點(diǎn)示范項(xiàng)目企業(yè)最高給予200萬元獎(jiǎng)勵(lì)，對(duì)獲得市級(jí)以上產(chǎn)業(yè)發(fā)展扶持的，最高獎(jiǎng)勵(lì)500萬元。

       順應(yīng)地方政策管理，海伯森堅(jiān)持技術(shù)創(chuàng)新和助力實(shí)現(xiàn)高端傳感器的國產(chǎn)化替代，在機(jī)械臂末端控制應(yīng)用上，自主研發(fā)六維力傳感器HPS-FT系列，實(shí)現(xiàn)高端工業(yè)生產(chǎn)的柔性裝配和超精密力控打磨。在機(jī)器視覺定位識(shí)別上，海伯森創(chuàng)新推出寬視野3D面陣固態(tài)激光雷達(dá)HPS-3D系列，實(shí)現(xiàn)AGV導(dǎo)航車搬運(yùn)和作業(yè)的區(qū)域安全避障，除此之外，榮獲第二十二屆高交會(huì)優(yōu)秀創(chuàng)新產(chǎn)品獎(jiǎng)的超高速工業(yè)相機(jī)HPS-HC系列，可以應(yīng)用于產(chǎn)線來料高速運(yùn)動(dòng)檢測(cè)和讀碼分析。在AOI檢測(cè)領(lǐng)域，海伯森獨(dú)樹一幟，突破國外“卡脖子”技術(shù)，研發(fā)出中國首臺(tái)3D線光譜共焦傳感器，并在實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)后迅速開拓HPS-LCF產(chǎn)品系列，另外，光譜共焦位移傳感器HPS-CF系列獲得恰佩克工業(yè)零部件模塊的創(chuàng)新產(chǎn)品獎(jiǎng)。未來，海伯森將推出更多高性能的智能傳感器產(chǎn)品，為國產(chǎn)傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)力量；通過身體力行，為廣東省智能傳感器中小企業(yè)發(fā)展提供經(jīng)驗(yàn)和借鑒。